二手 ULVAC Ceraus Z-1000 #9198269 待售

ULVAC Ceraus Z-1000是一種最先進的濺射設備。濺射系統由一個腔室、一個濺射源、一個真空單元、一個氣體進料機和一個處理控制單元組成。該工具旨在將所需材料的薄膜沈積在基板上。濺射室是一個圓柱形的室，有一個中央法蘭板。腔室采用不銹鋼制成，耐壓力高達10托。它有一個直徑12英寸的查看窗口和兩個用於法蘭連接的4英寸端口。該室配有一個自動化的門資產，可以方便地進出和快速裝卸基板。濺射源是帶有ED槍口和Mo槍口的二極管式濺射槍。它產生了一個高密度的等離子體，產生的是用於濺射基板表面的氙氣。濺射槍連接電源，設計為提供可變功率控制。濺射過程也通過處理控制單元控制。真空模型由一個旋轉泵、一個渦輪分子泵和一個擋板和陷阱組合組件組成。泵的設計目的是在腔室內提供清潔幹燥的真空環境。擋板和陷阱組合組件用於清除濺射過程中可能產生的汙染物和雜物。氣體進料設備的設計是在濺射過程中，向腔室中引入氙氣。它連接到濺射槍和真空系統。氣體進料單元裝有精密的壓力傳感器，用於監測腔內的壓力。這樣可以確保壓力保持在濺射過程的最佳水平。處理控制單元用於監測和控制濺射過程中涉及的所有過程。配備先進的安全功能，如溫度和壓力控制器。它還具有顯示過程的各種信息的能力，例如腔內的壓力和溫度。Ceraus Z-1000是一種先進的濺射機，用於薄膜沈積在基板上。它是一種可靠、通用的工具，可精確控制工藝參數，適用於各種濺射應用。