二手 ULVAC Ceraus Z-1101 #293625450 待售

ULVAC Ceraus Z-1101
製造商
ULVAC
模型
Ceraus Z-1101
ID: 293625450
晶圓大小: 8"
Sputtering system, 8" TMP Turbo pump missing.
ULVAC Ceraus Z-1101是一種濺射設備,能夠在多個工業和研究應用中提供高精度、高可靠性的結果。該系統具有強大的濺射室,內置濺射源和11 「x 11」工作區。它能夠在各種基板上沈積各種納米粒子,如玻璃、塑料和金屬。其腔室為純奧氏體不銹鋼建造,與濺射源熱分離。這確保了高精度的結果,並防止熱解吸樣品。Ceraus Z-1101利用基於射頻的濺射源將材料沈積到基板上。該源的功率最大為3 kW,可以編程以獲得沈積膜的各種厚度。它以廣泛的產生等離子體的氣體和氣體混合物,如Ar、O2、O+N2、CO+Ar,推出高強度等離子體放電。再者,機組配備了三電極機,確保基板和濺射源可以獨立操作,精確控制。這些功能允許廣泛的過程和應用,因為該工具可以丟棄不同厚度和組成的材料。ULVAC Ceraus Z-1101還具有一個帶有進給外殼的加工室,允許真空內樣品裝卸。此外,可以為資產訂購一個快門,以防止汙染,而密室能夠在高達40 mbar真空的大氣層下運行。此外,所有流程參數和活動都由設置控制軟件進行監控,確保可靠、可重復和一致的結果。總體而言,Ceraus Z-1101是一種強大的高精度濺射模型,非常適合眾多的工業和研究應用,從汽車和醫療設備塗層到用於芯片實驗室設備的納米團簇沈積。可用的各種配置允許滿足靈活、用戶定義的要求,其可靠、可重復的結果使其成為要求最苛刻的項目的理想選擇。
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