二手 ULVAC Ceraus Z-1301 #9053700 待售

ULVAC Ceraus Z-1301是為薄膜超高精度沈積而設計的下一代濺射設備。它采用復雜的濺射工藝，包括三個獨立的射頻/直流/直流濺射源，可精確控制大面積的沈積速率和均勻性。三個濺射源由強大的脈沖直流（PDC）源供電，允許精確控制濺射功率和電流。通用的Ceraus Z-1301能夠在廣泛的壓力、溫度和濺射功率範圍內沈積介電膜、金屬和復合材料。ULVAC Ceraus Z-1301包括各種高級功能,如大幅面樣品支架和負載鎖定系統,用於精確的樣品安裝和重復操作。該裝置還包括一個電動濺射距離組件，確保基板-目標距離得到優化，以達到最大的沈積效率。Ceraus Z-1301包含一個實時數據采集和監控機器，提供關於沈積速率、均勻性、基板偏轉等的實時信息。ULVAC Ceraus Z-1301提供方便用戶的操作,從配方設置到膠片監控。它能夠執行標準的濺射沈積過程，以及專門的過程，如無功和高功率沈積。Ceraus Z-1301是各種薄膜沈積任務的首選工具,從金屬-絕緣體-金屬（MIM）沈積到鈍化層創建,再到精密光學元件塗層。此外,其內置的安全特性、先進的工藝控制和卓越的可靠性確保了ULVAC Ceraus Z-1301成為濺射沈積的理想選擇。能夠在大面積生產均勻沈積的優質薄膜，滿足最嚴格的沈積要求。Ceraus Z-1301配備了ULVAC脈沖直流電源,為從電氣和光學元件到生物醫學傳感器等多個行業的薄膜沈積應用提供了可靠可靠的平臺。