二手 ULVAC Ceraus Zi-1000N #9053702 待售

ULVAC Ceraus Zi-1000N是為高通量濺射應用而設計的單室濺射設備。該濺射系統針對均勻的薄膜、厚度、較高的速率和提高的產量進行了優化。其革命性的先進設計提供了卓越的生產力和較低的擁有成本。Ceraus Zi-1000N利用ULVAC獨特的外圍濺射室單元實現高通量濺射。這臺腔室機器在工藝腔室的每一側都使用大的直流和脈沖-直流（PDC）磁控管，可以將電離電子註入陰極，以提高濺射速率。外圍濺射室產生較大的濺射區域，使工具可以執行高度均勻的濺射過程。ULVAC Ceraus Zi-1000N還具有可選的離子束輔助沈積（IBAD）功能,允許優化薄膜特性。將IBAD室改造為現有的生產室，並利用強大的離子束源將離子束質的質粒物質如氙氣和氙氣束在濺射膜上，以改善微觀結構和薄膜硬度。Ceraus Zi-1000N是維護友好，具有密封和靈活的環境，防止灰塵進入生產室。該資產還具有自動壓力控制，便於操作和維護。可編程邏輯控制（PLC）模型和晶圓處理機器人也使停機時間最小化，使設備以最小的中斷操作。總體而言，ULVAC Ceraus Zi-1000N是一個功能強大且用途廣泛的濺射系統，適用於各種應用。其高吞吐量、均勻薄膜、提高產量、先進的PLC單元和IBAD功能使其成為尋求可靠濺射機的理想選擇。