二手 ULVAC Ceraus ZX-1000 #195210 待售
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已售出
ID: 195210
晶圓大小: 8"
優質的: 2004
Sputtering system, 8"
Process: 8" metal sputtering
Type: 7 bay (7 module attachable)
Structure:
RF Process module + DC Process
(3) Module
Heat treatment
TM (7 Angle)
(2) L/L
(2) Control rack
Features:
Target changeable
Module changeable
Parts list:
(3) TMP Shimadzu 1002 LM
(3) Controller EI-1002MA
(3) TMP Shimadzu 202 LM
(3) Controller EI-202MA
(3) DC Power Kyosan, 1000V, 50A
(4) Heater Power Hercules, 100V, 25A
(2) UPS Upaco7
Robot module
PC rack
Compressor: HE C30ZR
Cable and dry pump missing
2004 vintage.
ULVAC Ceraus ZX-1000是一種通用的濺射設備,可為基於真空的沈積過程提供可靠的最終用戶控制。這種沈積系統能夠在有機物和無機物的材料上塗上薄薄的高性能薄膜。ULVAC CERAUS ZX 1000具有堅固的鑄鋁和陶瓷塗漆框架,使其具有很高的耐用性和穩定性。該設計包括一個全視窗,帶有清晰的可見度觀察窗口,符合工業環境中使用的國內和國際安全法規。可調參數可用於優化處理條件,如工藝時間、壓力和溫度。該裝置的負載鎖還有助於可重復的沈積運行,具有快速疏散、準確的目標存儲以及用於部件卸載和裝載的快速卡盤。Ceraus ZX-1000使用濺射,這是一種物理氣相沈積(PVD)方法,它涉及從真空室內陰極目標釋放的加速粒子。這些粒子加速到導致與氣體分子碰撞的速度,形成一股中性原子和分子。高速濺射粒子與底物反應形成所需材料的薄膜。這種沈積機能夠濺射金屬、化合物和電路元件。可調參數可以控制沈積速率和薄膜厚度。CERAUS ZX 1000還具有溫度控制功能,這對於高質量沈積和提高工藝效率至關重要。它能夠在20°攝氏度至1000°攝氏度的範圍內快速控制坡度溫度,可在沈積循環過程中進行調整。該工具還帶有壓縮機、清潔空氣幹燥機和排氣泵,用於排出反應產物。總之,ULVAC Ceraus ZX-1000是一種可靠、高質量的濺射資產,具有廣泛的可調參數和過程控制能力。適用於各種需要優質薄膜塗層的PVD應用。
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