二手 ULVAC Ceraus ZX-1000 #9098787 待售

ULVAC Ceraus ZX-1000是一種濺射系統，用於電子器件制造和塗層等許多工業和商業應用。它使用磁控管濺射沈積過程運行，利用電磁體的功率加速帶正電的離子朝向目標材料。這種轟擊過程導致目標材料的原子脫落，然後以薄膜形式沈積在基材表面。ULVAC CERAUS ZX 1000是一款單室設計的緊湊型機器，非常適合實驗室和大型工業應用。它能夠容納各種濺射沈積工藝和材料，使其成為一種通用的生產機器。它提供了介於-20°C和250°C之間的可調基板溫度，以及用於精確控制沈積過程的可調氣體流量。該系統具有真空室，可排空至0.1毫巴壓力。真空由渦輪分子泵和機械助推泵維持。Ceraus ZX-1000裝有一個可旋轉的陰極，帶有一個非對稱的點互鎖磁體陣列和一個射頻發生器，用於精確控制濺射參數和速率。目標材料由目標高度可調的水平固態支架固定到位。該系統還具有可旋轉可調的基板支架，可更均勻地沈積薄膜並增強工藝控制。由於其先進的特性，CERAUS ZX 1000被廣泛應用於平板顯示器、太陽能電池、半導體器件等器件的制造。機器能夠執行許多在這些行業中使用的生產技術，如金屬升空、遮蔽和過度蝕刻。它還提供了極好的精確度,薄膜厚度均勻度小於± 2.0%。此外,它易於使用的設計允許快速、簡單的操作,使其非常適合許多類型的用戶。