二手 ULVAC Ceraus ZX-1000 #9102244 待售

ULVAC Ceraus ZX-1000是一種能夠生產各種膠片的濺射設備。它非常適合那些需要各種薄膜沈積工藝和材料的人。濺射過程本身的工作原理是，用一種氣體，例如氙氣轟擊目標材料。當這種情況發生時，目標材料被氣體侵蝕並沈積在基板上。ULVAC CERAUS ZX 1000系統是考慮到這一點而設計的，能夠在目標材料沈積過程中提供高均勻性。該單元的主要特點是包括了一系列的腔室大小和形狀。這允許用戶根據其特定需求配置計算機。腔室的形狀大致像一個倒圓錐，使沈積在整個基板上均勻［11］。目標持有者具有耐熱性，可以在工人將目標材料存放在基板上時將其牢固地固定在適當的位置。Ceraus ZX-1000在競爭中脫穎而出的主要特點之一就是其廣泛的運營範圍。它可以在-10°C至450°C的溫度下運行，這使得它適合一系列的應用。它還具有較低的顆粒計數，特別是由於其氣體清洗工具，這意味著在材料沈積在基板上之前，任何汙染物都被清除。CERAUS ZX 1000還能控制壓力和射頻功率等參數。這允許用戶微調膜結構和厚度。它還包括一系列旨在保護資產免受任何可能的錯誤影響的控制器和安全機制。這些系統包括自動溫度控制、質量流量控制和若幹聯鎖系統，這些系統在操作過程中提高了安全性。ULVAC Ceraus ZX-1000是一種用途廣泛且可靠的濺射模型，適用於一系列應用。它為用戶提供了一系列腔室大小和形狀，以及控制各種參數的能力，以確保薄膜沈積的最佳條件。其廣泛的工作範圍和低顆粒數量進一步增加了其吸引力，使其成為生產高品質薄膜的理想選擇。