二手 ULVAC Ceraus ZX-1000 #9156841 待售

ULVAC Ceraus ZX-1000是一種先進的濺射設備，設計用於苛刻、高通量的研究和制造作業。它能夠生產堅固的薄膜塗層，同時提供最佳的工藝靈活性、準確均勻的沈積和工藝穩定性。該系統具有六濺射源，減少濺射時間，最大限度地提高生產率。該源可以很容易地配置為單目標或雙目標多層沈積。集成的載荷鎖為載荷和卸載提供了一個封閉的腔室環境。它由具有直觀用戶界面的觸摸屏面板和用於數據收集和記錄的高端PC控制。該單元提供多種先進的濺射技術，包括磁控管濺射、雙磁控管濺射、離子束濺射、反應性離子束濺射。這可以讓用戶實現出色的塗層質量和薄膜厚度控制。該機還具有直流直流、交流脈沖和四波調制電源，可實現最佳沈積控制和濺射速率均勻性。該工具有兩個獨立的氣體輸送系統，具有動態和靜態等離子體條件，以提供精確控制的濺射和蝕刻過程。在薄膜沈積過程中，氣體可以與濺射顆粒結合，產生所需的薄膜性能。它還具有一個全自動的在線過程來實時監測和控制薄膜沈積。該資產還具有一個可選的高真空負載鎖定室，用於高沈積速率和高溫或氧化物工藝的最佳結果。此外,可選的Auto-Improvement功能通過提供基於現場流程信號的反饋,幫助用戶優化流程參數和薄膜組合,以獲得最佳效果。ULVAC CERAUS ZX 1000為要求苛刻的研究和生產應用提供了可靠的濺射模型。在均勻準確的沈積控制、工藝柔韌性、工藝穩定性等方面都有優異的性能。其先進的過程控制能力和用戶友好的界面使其成為要求苛刻的工業應用的理想選擇。