二手 ULVAC Ceraus ZX-1000 #9180013 待售

ULVAC Ceraus ZX-1000濺射設備是一種先進可靠的薄膜沈積系統.該單元設計用於制造金屬、氧化物、氮化物等材料的薄膜，用於高科技工業應用。這臺機器以優異的性能和高精度著稱。ULVAC CERAUS ZX 1000是一種單室濺射機，使用先進的閉環工藝室來實現高工藝穩定性和精度。該室配有一個超高真空（UHV）端口，以維持沈積室中的高基壓，並且能夠達到目前可用的一些最高沈積速率。Ceraus ZX-1000具有多種特點，可確保薄膜的可靠、可重復、高速率沈積。它配備了多個大功率直流和射頻磁控管濺射源，以及一個電子束蒸發源。濺射源采用先進的中超高頻閉環功率控制和過程監測，以及氣屏蔽目標，以提高目標壽命和優越的均勻性。目標站是線路匹配，以確保均勻的薄膜厚度，並且工具支持廣泛的基板，從大的4英寸晶圓到小的、剛性的基板。CERAUS ZX 1000具有廣泛的工藝選擇，包括手動濺射速率調整、高真空泵送速率、先進的氣體混合能力以及多項安全功能，如自動工藝終止和緊急停止。此外，ULVAC Ceraus ZX-1000還配備了車載集成PC，用於控制工藝參數和監控工藝結果。高級控制軟件允許用戶根據任何類型的薄膜沈積要求對資產進行編程。ULVAC CERAUS ZX 1000濺射模型是業界信賴的薄膜沈積平臺。它是一種可靠、準確的機器，給用戶在任何工業環境下生產優質薄膜的靈活性。憑借其先進的技術和特點，Ceraus ZX-1000是實現可靠、超高性能薄膜沈積的理想選擇。