二手 ULVAC Ceraus ZX-1000 #9270490 待售
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ULVAC Ceraus ZX-1000是一種先進的精密濺射設備，用於各種應用，包括薄膜沈積和圖案、納米結構制造和濺射清洗。該系統由真空室、RF/DC電源、RF/DC濺射槍和氣箱組成。ULVAC CERAUS ZX 1000的真空室設計為達到超高真空水平。它由一個不銹鋼框架和兩個視口構成，可以在進行濺射過程時進行觀察。該腔室有一個內置的渦輪泵送單元和壓力表，允許在濺射過程中容易監測腔室壓力。室內有兩個架子，設計用來容納要濺射的基板。架子一次最多可容納四個4英寸晶片。射頻/直流電源提供對濺射過程的精確控制。它能夠獨立控制RF和DC電壓、脈沖頻率和脈沖寬度,從而實現微調調整和優化工藝條件。RF/DC電源可同時控制多達四個目標。射頻/直流濺射槍設計用於在平面和曲面上沈積。它配有離子蝕刻的離子源，能夠精確控制材料的去除。濺射槍獨特的設計，使得深濺射蝕刻和大面積的高效塗層。最後，氣箱提供了對惰性氣體流動的精確控制，使用戶能夠為濺射過程創造理想的氣氛。燃氣箱還設有安全開關，允許用戶在緊急情況下快速關閉燃氣。綜上所述，Ceraus ZX-1000是一種先進的濺射機，設計用於精確的薄膜沈積、圖樣、納米結構制造和濺射清洗。它由真空室、RF/DC電源、RF/DC濺射槍和氣箱組成，所有這些都能對濺射過程進行精確控制。
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