二手 ULVAC Ceraus ZX-1000 #9274937 待售

ULVAC Ceraus ZX-1000是由薄膜沈積和濺射系統的先進技術制造商ULVAC開發的濺射設備。它是為獨立控制濺射功率、脈沖頻率、角速度、目標面積/壓力和氣流而設計的，可實現高精度的薄膜形成和提高生產率。使用ULVAC CERAUS ZX 1000，用戶可以同時在單個基板上形成最多四種材料的薄膜。這是通過采用旋轉目標的專利雙目標技術來實現的。這項技術通過增加入射角的濺射粒子來實現更高速率的沈積。雙目標技術還允許在每種濺射材料上高效註入顆粒，使其與多種基材和材料兼容。Ceraus ZX-1000采用扁平圓形濺射系統，通過允許安裝多個目標來提高效率。該單元允許優化成膜條件和快速的工藝變化。它還兼容包括Ar、O2、N2和稀有氣體在內的多種類型的入口，以及包括直流電（DC）、低頻（LF）和射頻（RF）放電在內的多種來源。CERAUS ZX 1000由真空室組成，由閘閥密封，並結合了防止熱量泄漏到腔內的氣流式冷卻機。腔室內部是濺射工具，包括目標、拼盤、地板和動力裝置。濺射過程利用磁場優化被濺射材料的表面。這確保了更均勻的薄膜沈積。目標材料可以選擇符合特定的應用要求，範圍從碳、鋁、銅和不銹鋼。ULVAC Ceraus ZX-1000完全自動化,包括先進的安全功能,以實現最高的效率和保護。此資產易於操作,包含多個功能集,是工業和研究應用的理想解決方案。