二手 ULVAC Ceraus ZX-1000 #9274947 待售
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ID: 9274947
晶圓大小: 8"
優質的: 1995
Sputtering system, 8"
Turbo pump: TMP 202LM
Reflow
Degas
Ti/TiN
(2) AI
Cryo pump: Cryo-T8S
With (2) RS10 Refrigerators
Cryo pump: Cryo-T8PN
With (2) RS5 Refrigerators
1995 vintage.
ULVAC Ceraus ZX-1000是一種用於高質量物理氣相沈積(PVD)工藝的濺射設備。它能夠將各種薄塗層沈積到任何形狀、大小或材料的基板上。它特別適合於各種存儲磁盤塗層,如硬盤存儲、半導體、液晶和太陽能電池。ULVAC CERAUS ZX 1000具有兩個磁控管濺射陰極和一個用於濺射沈積的電子束槍。它的雙陰極濺射能力允許高沈積速率,高達400 nm/min,並且可以達到SRP<1%。電子束噴槍的高方向粒子流可以提供更高的精度,從而提高燒結速率,改善塗層的附著力。此外,該系統還配備了可用於氧化處理的氧控室和超聲波後表面清洗,以制備沈積底物。為保證設備的性能和準確性,它內置了檢驗和測試工具來驗證塗層的質量。這包括端點檢測、厚度測量和其他常規測試,以觀察工藝條件和成品。為了使機器的操作更容易,Ceraus ZX-1000有了一個工具控制器,可以通過基於Web的訪問從任何地方操作。CERAUS ZX 1000濺射資產為用戶提供了許多優勢。適用於多種塗層應用,包括光學元件、磁光或磁光記錄介質、薄膜太陽能電池。它能獲得較高的沈積速率,同時提供精確和準確的結果。該型號還內置測試和檢查工具,可以遠程操作,方便高效。ULVAC Ceraus ZX-1000濺射設備具有多種功能,是一個為用戶提供多種選擇的有利系統。
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