二手 ULVAC Ceraus ZX-1000 #9390643 待售

ULVAC Ceraus ZX-1000是一種濺射沈積設備,非常適合需要精密薄膜沈積的半導體工業應用。該系統利用ULVAC全自動、中央真空式的處理，在任何類型的表面上以極高的精度制造出均勻的薄膜塗層。該單元與廣泛的濺射材料兼容，包括金屬、金屬氧化物、氮化物和碳材料。它的中央真空機器，加上一個自生的閉環控制機制，有助於創造一個清潔的操作環境，確保不會受到外部來源的汙染。ULVAC CERAUS ZX 1000具有每個目標材料的源組件,允許靈活的沈積技術。這包括使用單陰極和雙陰極配置的能力，以及定向濺射。該工具還具有有源磁場，允許用戶實現高精度沈積的線性離子通量瞄準，以及低溫處理。此外，它允許在平面和柱狀構型中均勻沈積。Ceraus ZX-1000利用膜生長技術精確控制層厚度和膜成分。該資產利用一系列晶圓旋轉階段，在基板的所有側面實現均勻沈積，避免了表面性質的不必要變化。此外，還可采用多級溫度控制來微調薄膜性能。該腔室還采用了八口式盒式渦輪泵模型，以實現最佳的泵送能力，以及用於靜電預防的萊頓罐電路。最後，CERAUS ZX 1000內置了多種安全功能，如安全監視器顯示屏和互鎖門。這可以保護用戶免受意外接觸危險過程的影響。此外，通過自動裝卸裝置，該設備能夠24小時運行，無需操作員。這確保了持續和高效的生產過程。總體而言，ULVAC Ceraus ZX-1000是半導體工業應用的理想濺射系統。憑借其最先進的技術和可定制的功能,它可以快速、安全地提供精確的結果。