二手 ULVAC Ceraus ZX-1000 #9409842 待售

ULVAC Ceraus ZX-1000是一種先進的濺射設備，旨在以高度精確的方式將薄膜材料沈積到基板上。它利用多種原料，包括金屬、合金、金屬、聚合物、絕緣體和其他特種材料，創造出一系列多樣的薄膜結構。該系統能夠以三種不同的沈積過程，即直流或磁控管濺射、離子束濺射（IBS）和電子束蒸發（EB）提供高達四米見方的沈積面積覆蓋。該裝置具有堅固的腔室設計，配有4級旋轉渦輪分子泵機，使腔室內的壓力保持在大氣層的百萬分之一以下。它有一個易於交換基材的多位置傾斜炮塔，以及一個在過程運行過程中保持最佳腔室環境的外部樣品烘烤選項。此外，該室還有一個控制大氣的內部氣體噴射工具和一個自動流量調整的自動氣體控制單元。該資產包括Tofutron RF/DC電源和先進的混合脈沖電源技術以及高頻發電機選項,可實現高沈積速率和提高工藝穩定性。電源可以與其他等離子體過程元件耦合，包括HF/DC雙極電源和具有高頻電源配置的先進磁控管電源。模型內多個參數的這種組合允許精確控制材料沈積速率、均勻性、附著力和結晶完美度。ULVAC CERAUS ZX 1000為高精度濺射應用提供了多種功能。它擁有先進的嚴密過程控制監控設備，包括氧氣和惰性儀表、壓力表顯示屏和SEM照片。它還允許通過觸摸屏界面遠程監視和控制系統。此外，該裝置還提供先進的安全功能，如氣體檢測機、清潔工具和緊急關閉功能。總之,Ceraus ZX-1000是一種先進、可靠的精密濺射應用設備.它提供各種最先進的功能,例如堅固的腔室設計、多種沈積過程配置、高級RF/DC電源和集成的安全系統。這些特性保證了高質量的薄膜工藝，使模型成為研究和生產濺射應用的理想選擇。