二手 ULVAC Ceraus #154325 待售

ULVAC Ceraus是一種用於薄膜沈積和器件制造的濺射設備。該系統由四個主要組件組成：真空室、超高壓真空泵、遙控濺射源和電源。真空室是Ceraus單元的主要部件，是沈積過程中放置基板的大的、密封的金屬盒。它由一個帶有可移動蓋的圓柱形管組成，包括隔離閥、壓力表和視口。隔離閥提供對機器中其他部件的訪問，而壓力表和視口則用於監控腔室中的真空水平和工藝條件。超高真空（UHV）泵用於降低腔內壓力，並排出任何殘留氣體。特高壓泵的工作原理是產生真空，然後由初級、次級和三級泵的組合來維持真空。遠程濺射源是一種等離子體設備，其陽極和陰極連接到一個電壓源。它由一個磁性工具組成，可以控制等離子體。遙控濺射源用於以受控方式將薄膜沈積到基板上。電源用於提供濺射過程所需的電壓。它可以采取DC、RF或脈沖DC的形式。ULVAC Ceraus濺射系統能夠沈積各種材料的薄膜，包括金屬、合金、半導體化合物和介電層。該資產用於光子器件、平板顯示元件、太陽能電池和薄膜塗層等應用。該控制模型允許對沈積過程進行精確控制，使其適用於高端制造。