二手 ULVAC Ceraus #9137188 待售

ULVAC Ceraus是一種高性能濺射設備，設計用於對薄膜沈積進行高級控制。為大面積基板和高吞吐量提供了良好的均勻性。該系統采用一個真空室設計，是一個裝有多個加工站----源、轉運和目標----的單室，可在其中執行裝載、基板接收和工藝之間切換等操作。該單元可處理半導體、金屬、陶瓷、玻璃等多種基材。Ceraus機配備了高性能的射頻電源和過程控制器，以其四掩模操作模式實現了卓越的沈積能力。四掩模模式同時使用多個目標，使得每個目標之間的射頻功率分布可變。這可以極好地控制沈積速率和薄膜均勻性，同時使技術人員能夠沈積成分和厚度不同的高度多樣化的薄膜。此外，該工具利用先進的沈積絕緣和溫度控制系統，以確保過程的最大效率和重復性。保溫資產通過限制過程中腔壁的熱損失來促進均勻沈積，而溫度控制模型則主動調整沈積溫度以達到最佳工藝效率。ULVAC Ceraus設備專為高吞吐量應用而設計,具有快速的基板加載和交換時間,可加快生產速度。它易於使用的用戶界面提供了廣泛的功能，如配方輸入、過程監控和數據采集。該系統還支持聯網，允許遠程監控和訪問進程參數。Ceraus濺射裝置是光伏、傳感器、LED生產、MEMS、微機械等領域各種先進應用的理想選擇。它可以提供更高的沈積速率和優質的薄膜,同時提供出色的均勻性、可重復性、較長的使用壽命以及與各種材料的兼容性。