二手 ULVAC CS-200 #9156832 待售

ULVAC CS-200是由真空技術領先的ULVAC設計制造的濺射設備。它設計用於薄膜的沈積,用於半導體器件制造、光學元件和數據存儲等應用。CS-200是一種利用磁控管濺射的桌面單室系統。易於安裝，適用於低至中度高沈積速率。ULVAC CS-200使用圓形基板表,最多可容納6個基板支架,最大基板尺寸可達300毫米。源安裝在基板表的正上方，可以獨立移動到基板表面上方，形成均勻的沈積物。該單元最多可容納四個濺射源，包括標準磁控管和射頻濺射源。渦輪分子泵為機器提供2 x 10-5 Pa的底壓，它與旋轉式葉片泵耦合，總泵送速度為10,000 L/s。它還具有幹凈、通用、易於使用的觸摸屏界面。CS-200還利用了多種安全功能,包括壓力互鎖工具,該工具可在壓力超過設定點時自動禁用高壓源,電動快門可防止意外暴露於腔室,以及風扇監視器以確保電源的適當冷卻。ULVAC CS-200是低到中速濺射應用（包括需要多個目標的應用程序）的理想選擇。其先進的特點，如源的獨立運動和高精度的壓力互鎖資產保證了重復和精確的薄膜沈積。可靠、高效的CS-200操作使用戶能夠充分利用其濺射模型。