二手 ULVAC CS-200 #9313832 待售
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ULVAC CS-200是一種工業濺射設備,旨在提供各種薄膜材料在各種基板上的精確高效沈積。它利用陰極電弧蒸發,這是物理氣相沈積(PVD)的一種形式,將材料沈積在目標基板上。該系統可用於生產具有納米結構特征的塗層,用於電子、汽車、光學、生物醫學等多個行業。CS-200濺射裝置可以準確快速地沈積不同類型的薄膜材料。它包含一個電隔離真空機、一個6弧等離子體室、一個基板支架和一個基板傳遞工具。電弧等離子體的目標材料被密封在crucibles中,加熱到高於沈積所需的溫度。然後將加熱的材料汽化並轉移到基板支架,電弧等離子體充當汽化材料和基板支架之間的屏蔽,防止兩者接觸。ULVAC CS-200濺射資產可以定制,以適應不同的薄膜生產過程。它也有多種工具來控制和測量過程中的沈積速率。這些工具包括離子效應量化(IEQ)裝置,測量入射離子的能量;基板溫度測量模型,監測目標基板的溫度;保持穩定沈降速率的流動控制器;和可旋轉磁場監測器,測量圍繞基板支架旋轉的等離子體場。CS-200可以在各種基板上提供均勻的薄膜塗層,包括金屬、塑料、陶瓷、玻璃和其他材料。它還有一個可編程的控制設備,可以用來調整過程的參數如沈積速率、均勻性和薄膜的組成。該系統經濟高效可靠,是工業濺射應用的熱門選擇。
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