二手 ULVAC CS-500 #9313964 待售

ULVAC CS-500是一種濺射設備,用於將材料薄膜沈積到表面上。該系統非常適合生產高性能塗層、MEMS和其他微電子結構等應用。該單元由一個主真空室組成，由其他幾個真空室圍繞，用於樣品加熱、射頻偏置、平面磁控管濺射等過程。主室是放置目標材料，然後濺射到裝置表面的地方。主室配備了一系列的壓力、氣體和泄漏探測器，以及多種安全控制，以確保濺射過程的安全和操作。CS-500利用了一系列平面磁控管濺射目標，無需特殊工具即可快速輕松地改變。每個目標可加熱至400°C，可用於直流和射頻濺射。平面磁控管目標可以配置成多種配置，可用於將多種材料沈積到表面，如Ti/W/Au、金剛石狀碳、非晶矽和其他合金。ULVAC CS-500還包括一個集成的質量流控制器，可以精確調整濺射壓力和精確控制沈積過程。該機還為優化濺射工具提供了廣泛的參數，如溫度、壓力、氣體成分和目標配置。這為用戶提供了進行濺射實驗以滿足其需求的多功能性和靈活性。為確保沈積材料的質量和均勻性，CS-500配備了一系列內置測量裝置，如渦流計、石英晶體微天平和紅外顯微鏡。資產還具有內置的用戶友好界面,可用於查看濺射的材料數據。總之，ULVAC CS-500是一種強大的濺射模型，為濺射專家進行各種實驗提供了多功能性和靈活性。該設備使用方便，具有一系列內置功能，允許用戶調整參數以獲得最佳效果。無論您是在尋找塗層沈積、MEM設計還是更先進的材料沈積,CS-500都是滿足您需求的可靠高效的系統。