二手 ULVAC EBX 2000 #293792915 待售

ULVAC EBX 2000是為生產高品質薄膜而設計的高性能濺射設備。它能夠制造各種薄膜材料，包括金屬、半導體材料、電介質、絕緣體，甚至磁光材料。濺射系統建立在一個3軸平臺上，使它在沈積過程的每一步都能提供令人印象深刻的精度。ULVAC EBX-2000利用兩個獨立的濺射噴槍、一個分辨率為0.2 nm的線性編碼器和一個氣體監測器來提高薄膜沈積的精度。通過此設置,EBX 2000能夠以恒定速率濺射平面和曲面。EBX-2000還具有額定功率為1 x 10-8 torr的超高真空室。這種真空程度保證了每一個工藝中的高質量膜沈積。它還允許在該過程中對腔室進行接近零的汙染，從而實現有效的生長速度和對基板的最小汙染。ULVAC EBX 2000配有多種配件,可進行柔性基板加工。其中包括碳膜加熱器、晶圓對準板、機械傳遞臂和射頻發電機。利用這些附加工具，ULVAC EBX-2000能夠提高濺射速率，以及基板的均勻性。EBX 2000具備各種監控功能,使操作員能夠監控和管理沈積過程的各個方面,以確保過程正確完成並具有最佳效率。這包括遠程監控流程參數、使用實時攝像機繪制目標位置圖形以提高精度、控制排氣單元功能以及使用直觀界面進行高級診斷。總之，EBX-2000是濺射能力的範例。它配備了創新的特性，在濺射過程中提供了高精度和精確度，允許廣泛的材料用於薄膜沈積。憑借其超高真空機、眾多配件、精準監控能力，是生產優質薄膜的理想選擇。