二手 ULVAC EI-5 #293648862 待售

ULVAC EI-5濺射設備是一種高性能沈積系統，設計用於生產薄膜和金屬氧化物層。適用於精密薄膜沈積、防護塗層、粘合層、金屬氧化物塗層和半導體材料薄膜分層等多種應用。EI-5的核心利用緊湊的ULVAC電子束直流濺射技術，利用平面磁控管與聚光電子束耦合產生高均勻薄膜。其4軸機械手提供電子束的精確控制和方向，從而在大面積上形成均勻和可重復的薄膜沈積。該單元還配備了腔室側傾特性（Chamber Roll-Tilting Feature，簡稱CRT），以消除由於基板倒置而造成的工藝不均勻。ULVAC EI-5能夠以最精確的方式生產各種厚度和速率的薄膜。它具有很高的過程重復性，可以在垂直或水平配置中操作。板載光柵掃描的掃描速度高達5毫米/秒。該機還具有自動脫電離和清潔功能，可防止汙染，並允許在操作過程中快速高效地更換基板。EI-5濺射工具與許多ULVAC附件兼容,例如真空等離子體清潔器、源、目標和口罩。它還配備了一個集成資產控制器，可以方便準確地進行流程管理，以及一個數字視覺界面，便於調整參數、配方和歷史記錄。總體而言,ULVAC EI-5提供了高效和先進的濺射模型,非常適合生產高質量的層和結構,並具有精確和可重復性。緊湊的尺寸和靈活性使其成為各種薄膜沈積應用的理想解決方案。