二手 ULVAC EI-5 #293767094 待售

ULVAC EI-5是日本設計的工業級濺射系統，由ULVAC Technologies制造。它具有一個帶磁場發生器和高度穩定的真空室的整體結構，是高精度物理氣相沈積的最佳選擇。EI-5能夠同時處理兩種類型的目標，使其對各種復合薄膜生產具有高度的通用性。它具有緊湊的設計、良好的操作靈活性和較低的功耗,非常適合長時間連續運行。ULVAC EI-5的磁場發生器由高效耐用的雙旋轉磁控管、直線電機驅動器和電流監視器組成。通過控制電流和輻射DC/RF功率，EI-5能夠輕松、精確地控制磁控管濺射。使用單個目標的最大濺射速率為510 nm/min。ULVAC EI-5的真空室采用新設計的6口袋式電池，並配有粗加工閥。主動粗加工系統有助於增強真空穩定性，大大減少調整真空壓力所需的時間。室內還塗有不銹鋼網，以減少緊貼材料。EI-5效率高，吞吐量高。它配備了包括用於控制和監控的集成PC、各種高精度傳感器以及改進的過程控制系統在內的各種功能。它是光電、平板顯示器和半導體生產工藝的理想選擇。