二手 ULVAC EI-5 #293824737 待售

ULVAC EI-5是一種用於在大面積基板上塗覆薄膜的濺射設備。它利用電子沖擊（EI）濺射工藝將單組分薄膜或多組分薄膜薄膜沈積在平坦或彎曲基板表面。該系統包括一個EI源，利用電子束的能量撞擊陰極目標，產生濺射材料在基板上形成薄膜塗層。EI源可用於沈積多種材料類型，包括金屬、合金、絕緣體和電介質。EI-5濺射裝置采用雙區域腔室設計，使大面積的基板具有高均勻性。該室由兩個真空室組成：一個主室和一個緩沖室。樣品裝入主室，抽出的緩沖室有助於保持濺射過程中主室的壓力。這使得塗層在整個樣品表面上均勻形成。ULVAC EI-5機還具有視圖端口和側面訪問端口,以便在塗層過程中對樣品進行目視檢查。EI-5濺射工具包括具有大面積目標的強大電子束源，能夠產生高膜密度和均勻性。ULVAC EI-5還包含一個可編程的射頻電源,用於優化特定材料的形成。這使得濺射工藝可以針對不同的薄膜材料和基材類型進行定制。此外，該資產還配備了氧化鎂（MgO）陶瓷目標支架，能夠提高沈積速率，提高濺射材料對基材的附著力。最後，該模型包括車間真空設備和安全設備，其中包括安全聯鎖系統。這樣可以確保設備安全運行,並遵循正確的操作程序。此外，該機采用符合人體工程學的布局設計，便於操作、維護和清潔。總體而言，EI-5是一種高度先進的濺射工具，可用於將各種材料的薄膜沈積在具有高均勻性和沈積率的大面積基板上。憑借其可編程射頻電源、MgO陶瓷目標支架以及先進的安全特性，是PVD薄膜塗層應用的理想資產。