二手 ULVAC Ei-5K #293592010 待售

ULVAC Ei-5K
製造商
ULVAC
模型
Ei-5K
ID: 293592010
晶圓大小: 6"
E-Beam evaporators, 6".
ULVAC Ei-5K是為實驗室和工業應用而設計的高性能濺射設備。它是一種全自動沈積系統,可以使材料可靠、可重復地沈積到基板上。ULVAC EI 5K提供了具有多種工藝能力的先進濺射工具解決方案,包括ULVAC無漿濺射方法,它允許高沈積速率、高質量的薄膜和出色的薄膜到薄膜的可重復性。Ei-5K包括五個濺射陰極的標準構型,允許沈積五種不同的目標材料。每個陰極都可以針對不同的離子密度和氣體流速分別進行調整,給用戶提供各種各樣的選擇。此外,EI 5K還可以容納頭,以實現多個目標材料的同時沈積或材料的遠程等離子體增強沈積。ULVAC Ei-5K還包括ULVAC高級多級端點檢測單元,能夠控制整個沈積過程。這臺機器允許用戶監視被沈積材料的厚度,並精確確定一個過程何時完成。它還確保沈積正確數量的材料,從而在多個運行過程中產生可重復的結果。此外,ULVAC EI 5K允許用戶調整目標角、功率密度和被濺射材料等沈積參數,使其能夠微調工藝參數,並為其應用優化薄膜。此外,功能強大的專用軟件還允許用戶保存和存儲數據,使他們能夠快速輕松地回憶以前的設置或監視沈積過程。總體而言,Ei-5K是一種先進的濺射工具,可為可靠、可重復和高質量的影片提供多種功能。EI 5K憑借其多種流程功能和精密的端點檢測資產,以及直觀的用戶界面,讓用戶輕松操作機器,達到最佳效果。
還沒有評論