二手 ULVAC Ei-5K #293603133 待售
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ULVAC Ei-5K是一種用於真空環境中金屬、絕緣體和半金屬表面沈積的濺射設備。該系統的功率是可調的,可用於創建多種沈積厚度和特性。其最大基板尺寸為25cm x 20cm，目標表面與基板的距離可以調節。ULVAC EI 5K是一種緊湊、緊湊的型號,可輕松安裝在潔凈室和實驗室中。濺射過程是基於使用施加到基板上的電壓來誘導一個稱為濺射的過程。在這個過程中，目標可以被高能離子轟擊，從而將物質從目標濺射到基板上。此過程可以創建薄且高質量的表面隔離。Ei-5K具有較高的等離子體密度，比其他濺射系統具有更高的沈積速率。這種裝置通常使用氙氣作為濺射介質，但是其他氣體如氮氣和氧氣也可以使用。它還提供了用戶靈活性，因為機器可以容納各種材料類型、化合物和濃度。EI5K的一個關鍵優點是其高離子產率。這是離子從目標噴射的速率，增加濺射產率和提高沈積速率。此外，該工具還提供了均勻的沈積，允許均勻的薄膜厚度。ULVAC Ei-5K還具有獨特的基板清洗模式。在濺射過程開始之前,資產會自動清除基板。這改善了沈積材料的附著力，消除了汙染物。此外，在濺射過程中，模型能夠保持一個優化的腔室壓力和溫度。這樣可以確保濺射過程不會因環境的波動或變化而中斷。ULVAC EI 5K為在表面沈積領域工作的用戶提供了許多好處。其功率可調，沈積均勻，離子產率高，底物清洗能力大，對於任何尋求優質可靠效果的人來說都是絕佳選擇。此外，它是緊湊的，需要最低限度的維護和保養。
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