二手 ULVAC Ei-5K #293603151 待售

ULVAC Ei-5K是一種用於薄膜沈積的濺射設備。它是為高吞吐量而設計的工業級濺射系統。該裝置具有雙磁控管濺射源，可將多種材料同時沈積在基板上。該機器還包括一個可旋轉的目標和一個大的粗間距，這有助於實現更好的均勻性。該工具具有可容納5,000mm^2個基板的大腔室,允許高吞吐量和減少加載時間。基板安裝是機動化的，能夠快速裝載和卸載基板，並允許基板旋轉。該資產具有先進的高溫加熱元件和沈積過程中基板的可調冷卻模型。該室還配備了100級潔凈室泄漏過濾設備，能夠有效清除腔室中的顆粒，確保清潔操作。該系統采用ULVAC原始RIB控制單元進行控制和監控。這允許在沈積過程中對濺射配方參數進行實時分析、調整和優化。該機采用多任務執行方法進行沈積優化和故障檢測。RIB控制工具還允許監測基板溫度、壓力、電弧抑制電流和基板偏置電壓。ULVAC EI 5K服務於Si晶片OLED顯示器塗層、內存設備、3D結構設備等多種不同的應用。這種濺射資產適用於任何需要高通量和精確控制才能生產薄膜的應用。該模型提供了最大的靈活性,使用戶可以輕松地根據自己的需求調整配方。Ei-5K是一種強大可靠的濺射設備，適用於高精度的薄膜沈積。