二手 ULVAC Ei-5K #293604475 待售

ULVAC Ei-5K濺射設備是一種高性能、多功能的系統，用於在金屬、半導體和陶瓷基板等多種材料上沈積薄膜。它主要用於生產平板顯示器和太陽能電池，以及生產其他各種電子設備。ULVAC EI 5K的設計目的是提供更高的薄膜自動濺射，同時提供更高水平的基板和薄膜均勻性、優異的附著性能、低汙染水平和更短的加工時間。Ei-5K具有5-Kilowatt、中頻（MF）直流磁控管電源,使其能夠濺射各種金屬和其他材料。它配備了兩個陰極目標，並有四個處理室，包括一個預處理室、一個沈積室和兩個熱化室。該單元能夠處理尺寸高達6.7英寸（17厘米）的基板，處理速度高達每小時40個晶圓，或單個晶圓高達13英寸（33厘米）。EI 5K是自動化的,具有液晶觸摸屏操作員控制和內置的安全聯鎖、可編程序列控制、過程控制軟件以及自動和手動控制模式。它還包括一個用於脫氣基板的真空室，一個自動直觀的樣品裝卸機，以及一系列可選的配件。其先進的功能集允許輕松集成到現有生產線中。ULVAC Ei-5K以其卓越的精確度和可重復性而著稱,即使在過程控制水平較低的情況下也能得到一致和準確的結果。它的粒數低、設計低調、功耗降低，使其成為一個易於安裝的節能選擇。這種工具還與各種氣體兼容，允許在生產要求方面有更大的靈活性。總體而言，ULVAC EI 5K濺射資產是一種有效、用途廣泛、易於使用的薄膜沈積到一系列基板上的工具，適合多種應用。它提供了安全、可靠和經濟高效的快速、低成本的解決方案,使其成為商業和工業應用的理想選擇。