二手 ULVAC Ei-5K #293607249 待售

ULVAC Ei-5K是ULVAC, Inc.制造的高度通用的濺射設備。它是一種磁濺射沈積工具，利用低真空、濺射的工藝在基板或其他材料上塗上薄膜。ULVAC EI 5K有一個寬度為9「的5」磁區目標，以獲得更大的通用性。該濺射系統旨在提供最大的工藝效率和可重復性。Ei-5K從目標間隙到壓力上升的響應時間非常快，能夠快速啟動和可重復性。此外，該機組具有非常低的功耗和內置的O形圈密封單元，用於有效的過程控制。該機還配備了多點步進電機，用於精確定位目標到基板。EI 5K的先進特性，例如最先進的直接二極管等離子體，使得它非常適合一系列的應用。其出色的遮蔽和遮蔽精度，非常適合各種先進的薄膜沈積工藝，如薄膜塗層、超晶格、復雜的薄膜結構和PVD工藝。除了其出色的精確度外，該工具還提供了非常高級別的工藝控制，非常適合高質量薄膜的精密沈積。ULVAC Ei-5K還具有用於高通量應用的雙站晶片負載鎖定室和靈活的自動化選項,以滿足任何要求。總體而言，ULVAC EI 5K是一種功能強大、準確、高效的沈積工具，能夠進行多種處理。其卓越的精確度、低功耗和強大的、嚴格控制的工藝使其成為一系列薄膜沈積工藝和高通量應用的理想選擇。