二手 ULVAC Ei-5K #293636264 待售

ULVAC Ei-5K是一種高效操作和高精度控制相結合的濺射系統。它適用於薄膜沈積，在這種過程中，通過用高能離子轟擊目標並將其沈積到基板上來應用材料。ULVAC EI 5K采用內部緊湊設計,采用封閉陰極腔,減少了對加工氣體的潛在暴露,並將其捕獲在內部,以便進行精確控制。Ei-5K具有多種特性，非常適合薄膜沈積。它具有獨立調節的電離和沈積電壓，允許精確控制濺射過程。此外,實施的磁控管操作可確保目標基板的均勻性,從而實現薄膜厚度的均勻性。EI 5K也有一個雙平面磁控管，允許兩種不同的材料從同一個目標共沈積。此功能非常適合創建多層結構、增加材料性能並允許量身定制的薄膜設計。此外，ULVAC Ei-5K由於其自對準懸掛系統而簡化了維護程序，提高了濺射的準確性和可重復性。最後，ULVAC EI 5K具有多種精密薄膜沈積的元件和工具。它有一個可選的用於精確薄膜沈積的機械臂，以及一個真空吸塵器機器人，以保持在工藝室內清潔。它還有許多監視和控制系統,包括視頻監視器和PC控制。總而言之，Ei-5K是一種先進的濺射系統，由於其高精度的控制、高效的操作和方便的維護程序，非常適合薄膜沈積。其雙平面磁控管和可選的機械臂為沈積過程提供了靈活性和定制，從而提高了材料性能和量身定制的薄膜設計。憑借其眾多的組件和工具，EI5K使薄膜沈積更容易、更準確、一致。