二手 ULVAC Ei-5K #293671659 待售

ULVAC Ei-5K是一種高性能濺射設備，設計用於將各種厚或薄膜層沈積在大小基板上。該系統由控制器、真空室和離子源組成。控制器負責協調來自腔室和離子源的輸入，以維持最佳的單元運行。它包括一個用戶友好的界面，這使得容易升級和全機控制。它還實現機器人應用提供全自動層沈積過程。真空室作為發生各種沈積的濺射區域，包括直流電（DC）濺射、惰性或反應性濺射。它設計用來處理比傳統濺射沈積大三倍的負載。該腔室還配備了水冷磁性等離子體源，允許增加目標材料的電離。優化直流濺射需要離子源。它通過將小顆粒從目標材料（源）加速到基板表面而起作用。離子源還作為濺射電阻的能量來源和熔化和晶體生長的熱能來源。負責濺射沈積的離子可以集中在底物的任何所需區域。綜上所述，ULVAC EI5K濺射工具是為大、小基板上的厚膜和薄膜的高效沈積過程而設計的。該資產由用戶友好型控制器、大型真空室和離子源提供動力,可提供最佳性能和一致的結果。