二手 ULVAC Ei-5K #293824786 待售

ULVAC Ei-5K是一種用於薄膜沈積、光學塗層和微電子器件制造等應用的濺射沈積設備。該系統具有廣泛的功能和特點，允許多用途的研究和工業應用。在其核心，ULVAC EI 5K是能夠濺射沈積到基板和部件，允許一個特定的均勻保形塗層。該單元配備了5-kW多目標多弧磁控管濺射源，能夠覆蓋多塊基板。精確的電源可確保向目標輸送準確的能量,從而實現均勻塗層。一個過程中的監視器監測正在進行的沈積過程，就沈積剖面的變化提供實時反饋。它還根據施加的載荷調整參數，允許精確的沈積剖面和均勻的塗層。此外，還包括了一個過程氣體控制機器，允許引入氙氣或氮氣混合物，以更好地控制濺射過程。Ei-5K采用先進的臺階移動工具，可以快速裝載和卸載基板，同時確保精確的移動輪廓以實現高均勻性。這是通過使用自動橋、精確的x-y階段定位資產和快速基板傳輸的組合來實現的。EI 5K也是為了方便的運算符交互而設計的。透明的觀景室允許無縫的過程觀察和控制。包括一個直觀的HMI（人機接口），方便地控制參數和監控整個過程。此外，用於流程控制和數據采集的軟件工具可用於分析流程數據，有助於確保質量和可靠的結果。總體而言，ULVAC Ei-5K是一個可靠的薄膜沈積模型，適用於各種應用。它是專門設計的，以最高的均勻性、精確的控制和可重復的結果進行精確和可重復的濺射。