二手 ULVAC Ei-5K #9248804 待售

ULVAC Ei-5K是一種用於在樣品表面上沈積薄層材料的濺射設備。適用於多種應用，包括平板顯示器、光電、太陽能電池和磁盤驅動器。ULVAC EI 5K能夠處理直徑達200毫米的晶片，並有一個集成的離子清洗站。濺射系統具有ULVAC DR-100二極管式濺射源，包括四個同時沈積四種不同材料的陰極。可調級允許精確控制基板與陰極之間的火花距離，確保層厚沈積一致。Ei-5K還具有數字基板溫度傳感器（DSTS）。這種高精度溫度傳感器可以準確監測基板上的沈積溫度。除了濺射單元外，EI 5K還有一個包含離子源和離子清洗架的輔助截面。離子源由離子槍和集成離子源適配器組成，可以精確控制濺射層的均勻性和可重復性。集成的離子清洗機架通過去除顆粒和表面汙染物，確保濺射層均勻性。ULVAC Ei-5K是一個易於使用的機器，有一個直觀的軟件包，用於控制和監測沈積過程。軟件還包括一個實時查看沈積的圖形界面，允許在必要時更精確地調整沈積參數。ULVAC EI 5K可以手動或自動作業控制模式運行,還具有端點監視器,可實時反饋沈積過程的進度。自動作業控制模式對於大型沈積運行特別有用,因為它允許用戶使用參數配置沈積作業,然後讓工具自主運行直到作業完成。總體而言,Ei-5K是一種高性能濺射資產,非常適合各種應用,從平板顯示器到光電和太陽能電池。它方便用戶，為樣品表面的薄層材料沈積提供了可靠的平臺。