二手 ULVAC Ei-5K #9364552 待售

ULVAC Ei-5K是為硬質塗層應用而設計的高性能濺射設備。它是ULVAC產品線的最新發展之一。該系統具有易於控制濺射源的氣體管理單元，以及用於精確壓力控制的先進動態真空設計。該機采用1-2 kW電源提供直流和射頻濺射,可實現出色的薄膜均勻性和較高的沈積速率。ULVAC EI 5K還具有強大的基板夾緊工具,可實現最大的工藝穩定性和可靠的結果。Ei-5K有一個八目標載荷鎖定室和一個組合的冷卻火炬和加工室。該腔室適用於處理各種基板，包括最大610毫米的大面板。和圓柱形物體。其目標載荷能力可達八個目標，並擁有雙燃氣箱資產。EI 5K有一個獨特的支持模型來處理不同磁體和其他元素的多個沈積過程。ULVAC Ei-5K提供用於檢測氣體泄漏的氦氣泄漏檢測器以及用於監測和控制基板溫度的最先進的設備。它還具有多段電源控制系統，以實現各種材料的精確膜沈積。ULVAC EI 5K還具有數字數據采集單元，允許計算機或PLC進行遠程控制和數據記錄。Ei-5K是各種硬質塗層應用的絕佳選擇,例如陶瓷零件塗層、醫療設備和ITO薄膜應用。它也適用於磁控管和等離子體輔助化學氣相沈積（PACVD）工藝。該機具有目標基板距離均勻性和穩定性，基板加熱受限，溫度控制良好。為確保可靠和卓越的性能,EI 5K提供了多種自動功能,如自動清洗、自動排氣、自動故障和自動鎖定。ULVAC Ei-5K是那些致力於高性能硬質塗層應用的用戶的理想選擇。