二手 ULVAC Ei-5K #9364553 待售

ULVAC Ei-5K是一種小巧尺寸的高精度濺射設備,在ULVAC濺射系統系列中具有卓越的價值和性能。ULVAC EI 5K具有5.2 × 10-2Torr的總真空和5.0 × 10-7Torr的基本壓力,具有極高的濺射產量和精確的處理能力,是研究和生產應用的熱門選擇。該系統具有1000W的射頻功率基板加熱級,具有前後溫度控制功能。它還擁有0-60V直流電源、5軸機械手和分辨率為0.1nm的高精度石英玻璃位移計。Ei-5K隨附各種濺射源選項,包括Al、Na、K、Cu、Si和Ta等標準項,以及2「和4」 ULVAC-Lonj®源。該單元還可以配置可選的等離子體組合濺射源（PCSS），用於同時DC/RF等離子體濺射。高端性能可以通過EI 5K提供的接口模塊來實現。這些特定於應用程序的模塊使用戶能夠執行廣泛的沈積過程，如反應性濺射、同時磁控管濺射和高速率濺射。ULVAC Ei-5K用戶友好、操作方便,非常適合任何實驗室,從大學實驗室到工業生產環境。它提供了一個直觀的用戶界面，易於理解的圖標，一個優秀的真空度監控機器，以及一個數據采集工具，易於使用的功能。配備不銹鋼和陶瓷部件，ULVAC EI 5K還提供卓越的耐用性和較長的使用壽命。它還具有卓越的安全性，具有很高的抗震和抗振動能力以及全自動真空啟動，非常適合任何研究實驗室。總體而言,Ei-5K是一項頂級的濺射資產,可提供卓越的性能和可靠性。EI5K具有全面的源選項、堅固的結構和直觀的控制模型,是任何研究或生產環境的理想選擇。