二手 ULVAC Ei-5K #9402604 待售

ULVAC Ei-5K濺射設備是適用於物理氣相沈積（PVD）應用的高性能工具。它可以以受控的、可重復的方式沈積各種材料，使其可用於各種半導體、光電和儲能裝置的薄膜沈積。該系統允許在一個真空循環中處理多達四個基板。基材的直徑可以從直徑2英寸到直徑8英寸不等。ULVAC EI 5K允許範圍廣泛的等離子體功率,範圍從0-3000W到200-2000W。此單元還具有範圍廣泛的厚度控制輪廓,範圍從0.1到1000 nm不等,使其成為各種應用的合適選擇。它的雙源重力饋送輸液細胞使單獨的源可以用於不同的工件。這確保了每個基板的最佳結果。牢房門容易打開，便於基板裝卸。該機利用了從O2到Ar/N2的多種工藝氣體組合，允許不同種類的層。它還允許外部耗盡的源配置。該工具配備了七通道質量流量控制器，測量氣體的流量並將其驅動至所需壓力。該資產提供了一系列沈積模式，包括脈沖直流、直流和直流+射頻濺射，從而實現了更好的沈積速率控制。該型號具有堅固的鐘罩真空室，適合多種工藝。此外，其聯鎖的安全特性確保設備安全運行。此外，系統還設有直觀的觸屏界面，配有食譜記憶。這樣可以更輕松地配置和執行步驟較少的進程。此外,內置的數據記錄功能允許更輕松地評估流程參數。最後，Ei-5K還附有教學材料，非常適合不熟悉設備設置的用戶。最後,EI 5K是一種靈活、用戶友好的工具,非常適合各種PVD應用。這種濺射裝置提供了廣泛的厚度控制選項，以及不同的沈積模式。此外,其直觀的觸摸屏界面允許輕松操作和數據記錄,以確保準確的結果。