二手 ULVAC ei-6 #293758600 待售

ULVAC ei-6是以開發尖端技術著稱的日本公司ULVAC開發的濺射設備。該系統的設計目的是利用一種稱為濺射氣體的電離氣體將納米級薄膜作為薄層沈積在基板上。該過程稱為濺射沈積，是一種低溫沈積方法。Ei-6濺射裝置配置有群集型梯形結構濺射源。該源被設計成在濺射氣體被高方向性電場電離時產生均勻的沈積速率。ULVAC ei-6利用先進的自動化控制系統以及先進的真空技術。該技術確保了工藝條件的可靠性，提高了沈積工藝的準確性。真空室為三面壁不銹鋼。腔室直徑5.2英寸，高度7英寸，設計用於基板、大磁鐵等大小批次。Ei-6還具有一個電源,它能夠控制和監視濺射過程。此電源具有四通道直流電源、六通道直流電源和交流電源。它采用了最新的控制器技術，並集成到機器中以實現最佳的操作和監控。該工具還具有一系列附加功能，例如用於將基板進出主腔室的雙臂機械裝載機。裝載機配備了多級，具有狀態檢測功能以及集成氣體排出裝置。ULVAC ei-6是一種先進可靠的薄膜沈積資產。它是為確保納米級薄膜沈積時的高精度而建造的，具有一系列的控制系統和機器人裝載機，以確保高效可靠的操作。