二手 ULVAC EI-7K #293587277 待售

ULVAC EI-7K是一種用於材料薄膜沈積的濺射設備。它由專門從事真空技術的公司ULVAC Technologies, Inc.制造，並利用自己的創新工藝EI技術（下文提到）。該系統設計用於高效沈積，可與多種靶標一起使用，包括由氧化物、氮化物、氧硝化物、金屬和合金以及矽化物組成的靶標。EI技術利用專用離子源使室內濺射氣體電離。這有助於高離子密度和對能量、能量擴散和入射角的嚴格控制，從而形成一個適用於各種材料的均勻、高效的沈積過程。其他特性包括兩個電子倍增器，用於改進過程控制和速率優化。此外，該單元還配備了兩臺顯示濺射位置和過程時間的小型顯示器，改善了過程管理。ULVAC EI 7K有一個7英寸的雙（雙）旋轉濺射室，最小腔室壓力為5x10-5 Pa，設有單獨的氣箱和氣線，實現高效的氣體利用。該機支援五類目標：高、低阻力目標；COG、濺射和補充目標；和PCD（脈沖控制失真）目標。為了提高薄膜沈積效率，腔室還配備了強大的磁場發生器，可以控制磁場的方向。對於離子源參數的精確控制，RF（射頻）等離子體可用。EI-7K的最大晶圓尺寸和溫度分別為300 mm和400°C。歸根結底，EI7K濺射工具是不同材料高效沈積的絕佳選擇。它高效、準確、靈活。它帶有一系列專門設計的特性，以使膠片沈積更容易、更精確。由於這些原因，它是廣泛行業使用的絕佳選擇。