二手 ULVAC EI-7K #293603154 待售

製造商
ULVAC
模型
EI-7K
ID: 293603154
晶圓大小: 6"
E-Beam evaporators, 6".
ULVAC EI-7K是一種專為功能性、準確性和靈活性而設計的濺射設備。它具有廣泛的工藝選擇,從薄膜沈積到底物蝕刻,甚至AOI,一種離子輔助工藝。ULVAC EI 7K具有模塊化設計,由一個主腔室、一個主處理器和一個測量分析系統三個獨立的主組件組成。主濺射室操作簡單可靠,具有高效的濺射能力。它還包括先進的安全功能和一個計算機化的性能管理單元,這有助於確保業務高效、平穩地運行。主處理器使用閉環和反饋系統來監視和控制沈積參數和條件。測量和分析機提供了以多種方式可靠地監測和分析過程結果的能力。真空傳感器陣列確保腔室保持在正確的壓力下,而精密的傳感器則測量薄膜厚度。該工具還提供了多種分析能力來評估薄膜和基板的性質,如X射線發射、能量色散光譜和掃描電子顯微鏡。EI-7K帶有多個濺射配置選項,從標準的單源設置到復雜的多源配置。EI 7K具有沈積多種材料的能力,包括金屬、合金和氧化物材料。該資產還提供了加工各種基板的能力,從玻璃到矽再到陶瓷等等。ULVAC EI-7K具有全面的功能和多功能性,是滿足各種濺射需求的理想選擇。它靈活、用戶友好的操作使其成為一個通用的模型,非常適合任何用戶的需求。對於那些在濺射中需要精確度和精確度的人來說,ULVAC EI 7K是理想的使用設備。
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