二手 ULVAC EI-7K #293604476 待售

ULVAC EI-7K是由真空技術解決方案和設備的領先供應商ULVAC, Inc.制造的濺射設備。它是一種最先進的沈積系統，用於將材料層沈積到不同大小的基板上。ULVAC EI7K采用傳統的平面磁控管濺射工藝，在真空室中進行。磁控管濺射過程是一種真空沈積技術，它通過將高能粒子轟擊到基質上來沈積所需材料的薄膜。這一過程是由室內磁體產生的電磁場實現的。EI-7K是針對各種沈積要求而設計的,如薄膜、導電膜和保護膜。沈積單元的最大沈積速率高達6 Å/s，可處理工作面積小至40x60mm的多個精密配置。本機設有1-2個氣體入口的鎖載室、基板級、濺射陰極、100 mTorr型真空泵和副泵。此外，EI7K工具有六個濺射源，每個濺射源都有一個單獨的電源，並且能夠同時進行氙氣和反應性濺射。ULVAC EI-7K資產適合工業生產和研發,因為其用戶友好的設計是易於操作的過程控制軟件。該模型通過提供準確和高效的方法徹底改變了生產過程。它的網絡通信界面允許對沈積過程進行遠程監控和快速的適應性。此外，該設備的精度和可重復性使其成為高產生產的理想選擇。ULVAC EI 7K是一個能效系統，實際上消除了二氧化碳排放。利用閉環氣體控制裝置最大限度地減少氣體消耗，使調制電源和低室壓運行能夠提高能效。ULVAC專有的Vacuum Ultraviolet （VUV）燈進一步提高了機器的能效,使過程更加環保。EI-7K為將薄膜沈積在各種材料上提供了可靠和經濟高效的解決方案。其用戶友好的設計和高級功能有助於提高工藝效率並提供生產靈活性。它是一種允許用戶自定義設計濺射過程、賦予成本效益和對沈積過程的全面控制的工具。