二手 ULVAC EI-7K #9364550 待售

ULVAC EI-7K
製造商
ULVAC
模型
EI-7K
ID: 9364550
晶圓大小: 2"-6"
E-beam evaporation system, 2"-6".
ULVAC EI-7K是一種先進的濺射設備,旨在提供精確的控制和可靠的性能。它能夠為各種基材提供極為均勻一致的濺射塗層。該腔室由不銹鋼制成,總除氣率極低,密封密封,可實現高水平的真空。它具有三區加熱系統,可在精確熱控下加熱至4400 °C。ULVAC EI 7K還具有獨特設計的氣體單元,可用於在濺射沈積過程中引入反應性氣體。EI-7K由幾個高達6,000rpm的屏蔽裝置提供動力,其濺射目標由石英側屏蔽裝置保護,以防止煙霧汙染。其石英晶體監視器通過測量快門的0.524功率密度,有助於維持工藝的最佳條件。這使用戶能夠及時調整濺射過程,並迅速獲得所需的結果。EI7K提供了幾種額外的操作,以滿足客戶的不同需求。它具有為小至1x1mm的工件設計的離子槍,也可用於點濺射過程。它還具有一個發射電流監測器和一個高頻(HF)發生器,用於濺射難以到達的區域。最後,它的數控機器可以連接到一臺具有控制和監控過程的強大功能的PC。總之,ULVAC EI-7K是一種先進的濺射工具,設計用於各種基板上的一致、均勻的塗層。它具有幾種先進的操作選項和顯示器,具有可靠的性能和精確的控制。這使得它成為各種應用程序的理想選擇。
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