二手 ULVAC EI-7K #9364551 待售

ULVAC EI-7K
製造商
ULVAC
模型
EI-7K
ID: 9364551
晶圓大小: 2"-6"
E-beam evaporation system, 2"-6".
ULVAC EI-7K是一種采用等離子體技術設計的濺射設備,可提供高產、高質量的連續生產濺射。它旨在滿足先進研發和批量生產環境的需求。ULVAC EI 7K利用電磁現象的電弧放電現象產生由目標材料和所使用的濺射氣體組成的粒子/電離氣體。這種離子化的等離子體然後對準封閉在真空室中的底物樣品。EI-7K具有從標準直流濺射到高頻脈沖濺射技術的多種電源選擇。直流電源選項的範圍從微安培電平到毫安電平不等。脈沖功率選項可提供高達幾十千瓦的峰值功率。EI 7K還提供各種目標形狀和大小,包括平面和旋轉目標。它還配備了用於基板附著的靜電卡盤,並具有溫度控制等特殊特點的選項。ULVAC EI-7K在操作中提供精確的控制和自動化,從而可以精確控制濺射速率。系統可以高達250納米/秒的高速率濺射,同時仍保持所需的表面質量。它還旨在最大限度地減少目標表面和基板之間的摩擦,以減少汙染並確保高質量的薄膜。ULVAC EI7K為濺射材料提供了高度的均勻性和均勻性。該裝置的設計能夠精確控制整個基板區域的沈積速率、厚度和均勻性。它還具有多種檢測系統來評估塗層基板,並檢測過程中可能損壞的任何樣品。EI-7K是一種可靠、多用途的濺射機,適用於研發和批量生產環境。EI 7K具有精確的控制功能、高濺射速率和可定制的功能,非常適合任何需要最高性能的任務,同時保持最高質量。
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