二手 ULVAC EI-7K #9402679 待售

ULVAC EI-7K是來自真空處理設備領先制造商ULVAC Systems, Inc.的高性能濺射設備。它是一種用於薄膜沈積的全自動濺射系統，適用於廣泛的應用。ULVAC EI 7K能夠在多種基材上產生纖薄、均勻、保形的塗層，以及具有優良粘附性能的厚膜基材。該機組配備了固態離子源、選擇性濺射和反應性濺射等多種技術，以保證優異的性能和塗層質量。EI-7K配備了先進的八靶濺射陰極真空沈積（CVD）機，提供高度的過程控制。它具有廣泛的可調濺射參數，包括氣體壓力、離子電流、腔室溫度和磁控管電流。該工具旨在在不同的濺射間隙配置之間快速切換，以方便和精確地控制塗層厚度。它可以同時濺射多達八個目標，每個濺射目標被獨立操作和控制。隨著目標的老化,SolGuard功能會自動減小目標到基板的距離,從而保持塗層的均勻性。除了高性能的濺射資產外，EI 7K包含了廣泛的相關配件和技術。設有高真空壓室、源電源、樣品室、閘閥、出血管線。用戶還可以利用等離子增強化學氣相沈積（PECVD）、紫外線固化、蝕刻回等特殊工藝。該模型還配備了安全罩，保護操作員免受濺射過程中產生的危險顆粒的傷害。ULVAC EI-7K中包含了許多復雜的診斷和數據分析工具,從而便於檢測和優化過程參數。隨附軟件可實時監控工藝參數，生成塗層性能的詳細報告。軟件還有一個多光譜成像設備，可以讓用戶驗證表面截面的塗層厚度。該系統還包括用於電氣測量的示波器，用於精確監測濺射表面和源。ULVAC EI 7K是一種用途極為廣泛且可靠的濺射裝置，為廣泛的應用提供了最高水平的性能和價值。適用於多種行業，如液晶制造、半導體晶圓加工、數據存儲、MEMS等。憑借其堅固的設計和可靠的性能，EI-7K是一個理想的濺射機實現了高品質的，超薄膜塗層。