二手 ULVAC ei-7L #9236127 待售

ULVAC ei-7L是由ULVAC Inc.生產的濺射設備，ULVAC Inc.是一家專門從事真空科技的跨國公司。ULVAC EI-7 L采用磁控管濺射工藝將薄膜沈積到矽片、石英晶體、陶瓷或玻璃等基板上。利用高頻交流電源，制造出低溫等離子體，然後用於將薄膜沈積到基板上。這個濺射過程可以用線性或旋轉平面目標執行。Ei-7L具有高達5kW的最大直流濺射功率和高達3kW的最大交流電源。它可以在從超高真空到大氣層的廣泛腔室壓力範圍內運作。它具有一個內部腔室大小，可以容納一個4英寸的晶圓到一個8英寸的晶圓。工藝溫度可維持至400°C。它還配備了一個自動壓力控制系統，可以監控和調節腔內的壓力，並將其維持在所需的水平。EI-7 L由一個精密的機械臂構成，可以使基板和目標在腔內自由移動和旋轉。廣泛用於將薄材料沈積在金屬、半導體、絕緣體、聚合物等基板上。濺射過程可用於廣泛的應用，包括平板顯示器、太陽能電池、LED等等。ULVAC ei-7L具有先進的射頻匹配單元,該單元匹配電源和濺射室之間的阻抗。它還配備了在濺射過程中保持腔室溫度的精密冷卻機。其先進的控制工具允許用戶監控和控制諸如時間、功率、電壓和壓力等過程參數。ULVAC EI-7 L是一種多功能濺射資產,能夠濺射各種材料和基板。它具有即使有少量材料也能以高速率沈積薄膜的能力。ei-7L具有高度的兼容性和精密的控制系統，是制造可靠、高質量薄膜的絕佳選擇。