二手 ULVAC ei-7L #9275223 待售

ULVAC ei-7L濺射設備是將薄膜沈積在各種基板上的多功能工具。它采用無功磁控管濺射技術，能夠進行智能過程控制和優化。該精細鉸接自動化有助於提供薄膜的統一和精確的應用在晶圓或基板上，從各種復雜的電子設備。它的模塊化結構允許統一和優化的處理,從而能夠有效地與生產線工作流集成。ULVAC EI-7 L具有靈活的腔室設計,可容納不同的外圍設備和工藝設備,允許各種基板尺寸和薄膜沈積工藝。該系統旨在方便地替換濺射目標,以便快速更改過程。Ei-7L具有有效的磁場濺射源，即使在高基質溫度下也能實現精確和均勻的電子轟擊。這確保了薄膜與基板表面的最佳附著力。其先進的反應輸送裝置消除汙染，防止電泄漏。它還有一個內置的排氣機和冷卻工具，用於同時運行和高效的熱管理。此外，EI-7 L可以適用於低溫、環境友好的工藝，並能夠在中高真空水平下運行。為方便操作、手動操作、方便維護，構建了濺射資產。它有一個內置的軟件模型，具有自動數據集成和實時圖形過程控制的選項。該設備能夠以最少的浪費產生高質量、可重復的結果。低功耗有助於降低運行成本,而高度模塊化的設計可實現快速、輕松的重新配置和維護。ULVAC ei-7L還具有一觸式校準功能,可防止沈積過程中產生火花或靜電沖擊,從而提高操作員的安全性。總體而言，ULVAC EI-7 L是一種功能強大、用途廣泛、可靠、安全、節能的濺射系統。它具有多種先進的特性，可確保沈積的一致性和精確度，其模塊化設計可方便地針對不同的薄膜沈積過程進行定制。該裝置適合多種生產線應用，性能優越，是薄膜沈積工藝的理想選擇。