二手 ULVAC Entron EX 300 #293592005 待售

ULVAC Entron EX 300
製造商
ULVAC
模型
Entron EX 300
ID: 293592005
晶圓大小: 12"
優質的: 2012
Multi-chamber sputtering system, 12" (8) Chambers 2012 vintage.
ULVAC Entron EX 300是一種工業濺射設備,用於各種材料塗層應用。該系統有效地將均勻的薄膜以高速率和低成本沈積到基板上,適合大批量生產。作為一個多弧形單元,它能夠塗覆廣泛的材料,包括電介質、金屬和合金。Entron EX 300設計用於在各種尺寸的基板上沈積均勻的薄膜,最大可達450mm。該機將高生產率與對薄膜厚度、附著力和光學特性的精確控制結合在一起。恩特龍的幾何形狀還允許精確放置多個弧和精確對準基板位置。ULVAC Entron EX 300在低基質溫度下運行,允許復雜材料的快速蒸發而不會造成熱損害。此外,Entron EX 300還提供了對沈積速率和一致性的精確控制,以滿足廣泛的客戶要求。當結合惰性氣體惰性離子源和集成真空工具時,ULVAC Entron EX 300能夠在高速和超低壓下精確濺射。Entron EX 300包括多項功能,可確保卓越的性能。提供了方便方便的參數設置軟件,實現了多種設置點,同時提供了極好的可重復性。多層工藝控制方案進一步提高了濺射沈積的精度,並實現了一致的結果。此外,工藝控制資產簡化了生產,產生了從晶圓到晶圓的可重復結果。ULVAC Entron EX 300是薄膜均勻精確沈積的理想模型。它為生產者提供了一種高效、經濟高效的方式來生產具有嚴格公差的大量產品。這款ULVAC多弧濺射設備具有卓越的工藝控制和先進的特點,適用於廣泛的塗層應用。
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