二手 ULVAC Entron EX W300 #9211053 待售

ULVAC Entron EX W300濺射設備是一種強大的多功能濺射工具,非常適合各種應用。該W300提供了充氣和氧氣（或其他反應性氣體）濺射，最多四支槍同時工作，控制精細到千分之一毫米的特征尺寸精度。高真空室可以容納兩個晶片，或高達4英寸的圓形基板和500伏的標稱加速度電壓。該裝置采用磁控管濺射源，功率為300瓦，A型濺射或600瓦，用於反應性氣體。該W300是為在包括研發、小規模生產和新材料初步評估在內的一系列真空和濺射環境中的魯棒性和可靠性而設計的。強大的系統還提供了先進的功率調節與局部脈沖控制，允許過程參數的完全控制。該W300使用戶能夠同時運行材料沈積和表面處理,從而實現更高的樣品吞吐量和更大的靈活性。除了確保工藝精度和可重復性，W300還具有集成的半導體熱處理能力。該裝置采用帶加熱散熱器的多區石英紅外燈，為溫度敏感的工藝操作提供了高達800°C的最佳加熱溫度。先進的六軸機器人機器，以精確的導航和可重復的精度，創建多階段、多軌道的處理路線，優化氧化物薄膜層去除、層薄膜沈積等過程。最後,W300具有直觀的用戶界面,使用戶能夠快速適應該工具,並通過實時、數據循環和圖形顯示隨時了解情況。內置的安全和監控系統通過自動監控資產數據並針對故障情況進行保護來保護用戶。總體而言，ULVAC ENTRON-EX W300是一種強大而可靠的濺射模型，旨在滿足各種與基材相關的材料加工需求。