二手 ULVAC Entron EX W300 #9212275 待售

ULVAC Entron EX W300是一種高性能、最先進的濺射設備,專為各種應用而設計。該系統能夠生產具有良好臺階覆蓋率的均勻薄膜，是生產電子和光學元件的理想選擇。ULVAC ENTRON-EX W300具有多參考真空室，可變寬度跟蹤處理多達八個目標。其先進的泵站包括一個幾乎無油的雙級渦輪分子泵，確保將腔室有效泵送至低至10-5 mbar的壓力水平。此外，該裝置還包括一個可清除腔室內碳氫化合物汙染的潛水柱，從而提高長期性能和可靠性。該機還具有集成的射頻偏置電源，用於先進的薄膜合成和優化濺射沈積速率。這是通過使用RF偏置加上多個腔室壓力來實現的，從而實現了對薄膜沈積參數的精密控制。濺射電源可以快速達到不同程度的陽極電壓，並提供「負濺射」能力，可用於將導電層沈積到樣品基板上。ENTRON EX W 300可以容納眾多的基材尺寸和材料，從纖薄的基材到尺寸要大得多的基材。通過在工具中加入有效的快速變更模塊化設計,可以快速變更不同的來源,而無需重新校準。此功能消除了停機時間,並確保了最大的資產生產率。最後,ULVAC ENTRON EX W 300具有用戶友好的控制臺模型,其中包含直觀的全圖形用戶界面。這樣可以方便地使用和解釋控制值,以便調整或采取糾正措施。成品被標記為具有高可靠性和優良的材料性能，如精確的薄膜厚度，純度，和良好的附著力。這使得ENTRON EX W300生產薄膜塗料的理想工具。