二手 ULVAC Entron EX W300 #9275306 待售

ULVAC Entron EX W300是為材料處理應用而設計的高性能、緊湊的濺射設備。該系統為沈積和精密塗層應用提供了更高的生產率、可靠性和精度。它具有先進的磁控管陰極，為均勻均勻的薄膜沈積提供均勻一致的能量來源。ULVAC ENTRON-EX W300設有原位基板加熱機構、多區鎖載室和後側電離室，以利於高膜質。ENTRON EX W 300有一個膨脹的濺射室，可以增加過程吞吐量，允許增加基板容量，步長為4英寸。該裝置采用高效的兩級冷卻機器，用於濺射陰極，以確保最佳陰極溫度和長期使用。該工具配備了一個高真空濺射氣源，與真空泵連接，並直接送入在腔室和負載鎖之間交換的濺射氣體。此外，該資產還提供了一種低壓濺射工藝，用於沈積在非導電基板上。為了提高沈積質量，該模型有一個底物旋轉表，允許處理復雜的薄膜結構。它包括使用Peltier-can設備自動裝載和卸載基板，並配有多區氣體凈化系統，以維持單元內的清潔環境和控制基板-等離子體界面。此外,ULVAC ENTRON EX W 300與適當的軟件包集成在一起,該軟件包提供對機器的遠程控制訪問,提供簡單的操作和過程監控。ENTRON EX W300為多次濺射沈積應用提供了優越的膜沈積和控制，並采用耐用材料構建，使其成為一種敏捷而健壯的濺射工具。這種濺射資產是汽車、航天、電子、生物醫學和光學等行業的理想選擇。