二手 ULVAC Entron EX W300 #9282017 待售

ULVAC Entron EX W300
製造商
ULVAC
模型
Entron EX W300
ID: 9282017
晶圓大小: 12"
優質的: 2013
PVD System, 12" 2013 vintage.
ULVAC Entron EX W300是一種非常先進的濺射沈積設備,適用於各種工業應用.該系統采用緊湊的設計,最大尺寸為78.74英寸x 68.11英寸x 32.68英寸,是對任何工作區的絕佳補充。該機組使用電磁離子束源進行濺射,提供比傳統熱蒸發器更高的沈積速率和更低的均勻性。該機還配備了電動目標移位器、旋轉饋線和自動基板裝載機,創造了真正自動化的濺射過程。ULVAC ENTRON-EX W300設計為提供卓越的沈積均勻性和速率控制。通過在濺射過程中采用離子束技術,ENTRON EX W 300能夠實現卓越的沈積均勻性,尤其是在垂直基板上。該工具還具有廣泛的目標電流調整設置,允許對濺射沈積速率進行精細控制。ULVAC ENTRON EX W300還可以處理範圍廣泛的目標材料和厚度,從無磁導電目標(如銅)到磁性材料(如不銹鋼),使其能夠用於各種工業應用。ENTRON-EX W300易於操作和維護。用戶友好的圖形用戶界面(GUI)允許對基板旋轉速度、目標位置、沈積控制設置等參數進行直觀控制。GUI還具有數據記錄功能,允許用戶保存和監視沈積過程。此外,ULVAC ENTRON EX W 300的設計具有極高的可靠性和最小的停機時間,其特點是具有電力調節資產,以確保穩定的工藝條件,以及雙室清洗模型,能夠快速和方便地清洗沈積室。ENTRON EX W300對於需要高質量濺射沈積的行業來說是一個極好的選擇,其應用範圍從塗層醫療設備到制造薄膜電容器。該設備堅固、易於操作,並具有很高的統一性,為許多工業過程提供了優化的解決方案。
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