二手 ULVAC Entron EX W300 #9282018 待售

ULVAC Entron EX W300是一種基於平行磁控管的濺射設備，設計用於精密塗層工藝和均勻的薄膜應用。這種大面積的平行濺射系統具有多前體、單同時濺射工藝，可提高塗層質量和在寬晶片上均勻沈積。ULVAC ENTRON-EX W300單元由一個集成的負載鎖定室、一個處理室以及每個濺射源的獨立電源組成。W300機由於在一個腔室中包含多個基板支架的獨特設計，可以實現很高的均勻性。這可以使單個濺射運行產生均勻的薄膜塗層跨越大面積，如150毫米晶圓。該工具采用直接二極管偏置電源，用於精確控制和精確精度，以優化工藝結果。此外,該W300還采用垂直載荷鎖定室設計,有助於消除汙染問題。強大的DC/RF電源、雙源雙模塊資產相結合,可提高薄膜均勻性,而且模型的非陰影部分有助於增強大管狀基板的均勻性。ENTRON EX W 300還具有堅固的真空設備,可幫助生產高活度薄膜,從而提高其使用壽命和可靠性。其高動態工藝控制也使其成為高精度塗層工藝的理想選擇。該系統也非常適合生產光學薄膜塗層，如抗反射和高反射率塗層。ENTRON EX W300與包括金屬、玻璃和陶瓷在內的各種基材兼容。ULVAC ENTRON EX W 300是生產多種用途的薄膜塗層的理想塗層單元。其堅固的設計和高精度使其適用於精密塗層工藝和均勻的薄膜應用。該機還非常適合光學薄膜塗層，與各種基板兼容。